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基于流延成型的氮化硅基板的研发及应用
应用领域:
我有意向
国家/地区
中国
行业领域
简介
项目拟通过研发,从工艺的角度对国产设备进行改造,购进进口高端设备,提高氮化硅基板的电化学和力学性能,达到国际先进水平,打破国际垄断,实现进口替代。
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