电子束等离子体中金属和合金的氮化

应用领域：High-tech services

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国家/地区

中国

行业领域

High-tech services

简介

提出了一种在低压含氮气体中低能电子束产生的等离子体中对金属和合金进行无氢氮化的方法。该方法提供不锈钢和钛合金的低温氮化。为了产生具有高含量活性氮粒子的等离子体，使用了具有等离子体阴极和单栅加速系统的电子源。该方法可以独立控制束中的电子电流密度（10-200mA/cm2）、初始电子能量（50-500eV）、气体介质的成分和压力（0.1-5Pa），加热产品的方法（电子束、等离子体中的离子和组合方法）。该方法允许在产品的低（0-100V）或浮动电位下氮化，减少氮化时间或降低加工温度。开发的器件中产品的氮化表面总面积为 2x103cm2。

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