等离子体增强化学气相淀积高效低成本太阳电池工艺、设备研发及其产业化

应用领域：New energy and energy conservation

我有意向

国家/地区

中国

行业领域

New energy and energy conservation

简介

本项目结合捷佳伟创设备研发优势和中山大学太阳能研究所工艺研发优势，采用设备研制与工艺开发相结合的技术路线，研制针对能够有效提高太阳能电池片转换效率的叠层镀膜背场化工艺的管式PECVD设备，主要研究内容完成情况：课题一：管式PECVD系统装备研制完成管式PECVD系统装备的研发，并进行产业化生产转化。1）具备叠层镀膜工艺硬件配置，可进行叠层镀膜工艺；2）实现>1250mm恒温区，在工艺要求的温度范围内，保证温度控制精度为±2 ℃，温度稳定性≤±2 ℃/4h；3）采用分步镀膜工艺，闭环控制保证反应室气场及压力稳定；4）设备实现自动化运行；5）完善的安全保障系统；6）中央集成控制。

资源&服务 \| 科技服务云超市
	首页 > 资源&服务 > Find Technologies >详情

资源&服务 |