基于半导体行业生产尾气的高效处理工艺

应用领域：Resources and Environment

我有意向

国家/地区

中国

行业领域

Resources and Environment

简介

目前，本行业对于高浓度高风量的VOC气体采用TO炉直接燃烧法，低浓度高风量的VOC气体采用的是沸石转轮+TO炉/RTO炉的形式处理，对于低浓度低风量的VOC气体采用活性炭吸附的形式处理，现公司希望通过优化处理工艺来提升核心竞争力，主要的技术难题有 (1)研发更高效节能的处理半导体行业VOCs气体的新工艺，如生物处理法 (2)在现有工艺基础上进行节能高效的优化: (3)燃烧过程中更高效地利用热能回收研究等，希望在未来三年可以研发出热回收率达到70%及以上的换热设备以及优化出一套可行降本的有机废气处理工艺。

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