简介
目前课题组已经研发出了世界上最小、直径仅为 1 毫米的压电单晶马达。比如研制的压电单晶超声微马达,体积尺寸仅有1.5×1.5×5mm3、重量仅有 0.1g,但最大可以产生20g的驱动力,其单位体积或质量产生的输出力比传统电磁原理音圈马达要高出100倍以上。此外,课题组还开发出系列推力从 0.2N至 32N的压电直线马达和相应的压电驱动器工作台,其主要性能指标可以取代进口Nanomotion 的产品。本课题还研发出了可在 2500℃ 高温下工作、具有微纳米分辨率的压电驱动器,可用于高温阀,最近还研制了具有亚微米分辨率的 6 轴压电微机电系统,在微型机器人精密操作系统、微电子组装、生物医学微细操作、超精密微细加工、光通讯,以及 3D 打印系统等领域具有广泛应用前景。