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功率器件制造工艺

应用领域：Electronic information

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国家/地区

中国

行业领域

Electronic information

简介

晶圆厂先进的制造工艺平台。要求达到的技术性能、参数指标：满足超结 MOFET、IGBT、第三代半导体（SiC）等产品特性的制造工艺。

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