阴极磁棒及旋转阴极端头 - Find Technologies - 中国-上合组织技术转移中心

阴极磁棒及旋转阴极端头

应用领域：Advanced Manufacturing and Automation

我有意向

国家/地区

中国

行业领域

Advanced Manufacturing and Automation

简介

镀膜工艺的关键部件之一——阴极磁棒及旋转阴极的设计与生产，核心技术多被外企所垄断，国内在该领域的设计与研究尚属起步阶段. 阴极设计主要分为：机械结构及磁棒磁场分布两个方面。其中磁场的布局直接影响到溅射工艺的优劣及其生产效率高低。合理、精准的磁场排布能够有效的提高磁场的均匀性，增加靶材的利用率。因此对特定点位的磁场测量，提出了极高的要求。目前美国SCI产品，英国GENCOA公司产品占主导地位。希望在关键部件上实现国产化。技术问题现状分析：公司使用美国SCI产品。

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