反应磁控溅射制备ZnO薄膜及其在CIGS薄膜太阳电池中的应用

应用领域：New energy and energy conservation

我有意向

国家/地区

中国

行业领域

New energy and energy conservation

简介

阴极处的极化电压与阴极靶表面的状态具有十分密切的关系。ZnO薄膜制备过程中采用闭环气体控制系统来调控工艺过程和材料特性，即通过从连入阴极处的直流（DC）电源的电压信号来控制进入的氧气流量，从而精细而有效地控制反应溅射工作点。相对于其它的反应溅射控制方式，采用靶电压信号控制氧分压从而控制反应溅射工作点的方式具有更加简单直接的优点。本课题的研究在氧化物薄膜材料的制备技术方面具有一定的先进性和创新性，同时也为新型材料的制备提供了新的途径和材料性能优化方向。

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