一种适合于光刻机复位用的对准方法及装置 - Find Technologies

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一种适合于光刻机复位用的对准方法及装置

应用领域：High-tech services

我有意向

国家/地区

中国

行业领域

High-tech services

简介

本发明公开了一种适合于光刻机复位用的对准装置及方法，可以实现快速高精度复位对准，可以达到高精度对准，甚至超越前者的对准方案，制作简单且价格低廉。

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