微纳加工技术在各类传感器件中的应用

应用领域：Electronic information

我有意向

国家/地区

中国

行业领域

Electronic information

简介

成果（技术）简介：综合利用磁控溅射、电子束溅射以及紫外曝光、离子束刻蚀、反应离子束刻蚀、聚焦离子束刻蚀等先进的微加工技术制作各种传感器、MENS器件、纳米材料等，不仅具有新产品开发、研制能力，同时具有中试和小批量生产能力。主要技术特点（指标）：可以实现多层金属、绝缘体以及氧化物的纳米和亚微米量级的薄膜制备，紫外曝光最小线宽可达2-3微米，多层对准的套刻技术。应用领域及效益分析：传感器技术和MENS器件以及纳米材料等。

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